硅微机械加速度计零位偏移的影响因素研究

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【摘要】

：

目前已受到国内外广泛关注的硅微机械加速度计,有许多极具诱惑力的特殊优点,但硅微机械系统普遍存在零位偏移大、启动时间过长、动态性能差的缺点,而由于其体积小,干扰因素多,直接检测其动态性能非常困难。零位偏移是衡量微加速度计动态特性的重要指标,研究微加速度计的动态特性,从理论分析入手,寻找导致其零位偏移的原因,对硅微机械系统的理论与应用有重要的意义。本文结合微电子机械系统(MEMS)中常用的传感器—电容

【作者】

：

高驰名

【机构】

：

西安电子科技大学

【发表日期】

：

2008年01期

【关键词】

：

硅微机械加速度计零位偏移压膜阻尼

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