硅棒碰壁检测器的研究与设计

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还原炉是西门子法生产多晶硅的重要设备,由可控硅调压柜控制的多晶硅还原炉电气系统对其进行自动控温,它的主要设备是大功率调压器。在生产过程中会发生功率因数低和谐波问题、结构上的环流问题、硅棒碰壁、裂棒检测及断电再上电等一系列辅助功能问题。硅棒碰壁是其中问题之一,当还原炉中的硅棒发生倒伏碰壁时,造成负载短路,电流过流等故障,甚至会发生硅棒放电击穿炉壁,造成巨大损失。而只有俄罗斯,美国,日本,德国,法国,以色列等6个国家掌握此故障的检测技术,目前国内还没有能够检测出多晶硅碰壁的装置,只能通过人工看守,或引进德国的先进国家的检测设备,因此,研制出多晶硅检测装置在国内的多晶硅生产领域有着重大的意义。   还原炉中硅棒电阻大范围变动引起调压器输出电压和电流的调节范围大是调压器的设计特点,而电压的不可控性造成了碰壁现象直接检测的难度。本文通过对多晶硅还原炉电气系统的研究,针对硅棒碰壁这一现象,设计了一种能够自动检测出多晶硅倒棒碰壁现象的装置。检测装置根据电容元件的通高阻低的特性,消除了工频电压大范围变化带来的不可控性,通过检测电路对高频检测信号的检测来判断硅棒的碰壁,能够在硅棒碰到炉壁的时候及时的报警。  
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