场致气体放电过程最基本的电学特征是气体由绝缘状态转变为导电状态,即在某特定的电压下,回路中电流由微弱的噪音信号增长为纳安以上量级可重复检测的信号,并且这种转变经历的时间很短(纳秒级)。从理论上讲,这个转变过程的临界电学特性只与(1)电极系统的几何结构和材料属性;(2)气体环境的成分和浓度;(3)电压加载方式三种因素有关。因此,在(1)和(3)不变的条件下,不同气体有不同的临界电压和临界电流,进而可以作为区别不同气体成分和浓度的依据。在工程实践中,该类型气体传感器具有响应时间短,灵敏度高,恢复快等优点,但目前此类器件的重大技术难点是工作电压过高。为了在保证气体放电所需的电场强度的同时降低电压,本论文参与设计了一种用于气体检测的新型碳纳米管微间距侧壁电极结构,该结构的制备建立在MEMS微加工技术基础上。该电极结构采用碳纳米管作为电极材料是因为碳纳米管具有大的长径比以及纳米尺度的尖端,能够在相对较低的电压下形成高场强,是一种优良的电场增强电极材料。应用MEMS微加工技术可以制备宏观加工手段无法达到的微间距电