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【摘 要】
:
随着科学技术的不断进步和发展,许多领域都对精密驱动和定位提出了更高的要求,不仅要有较高的分辨率,而且要有足够的输出力和较大的输出刚度,传统形式的驱动器已经不能满足这些要求。基于压电材料制成的压电驱动器具有惯性小、响应快、分辨率高等优点,可以满足驱动元器件小型化、微型化的要求。本课题创新性地利用压电材料作为驱动元件,设计了2套用于显微镜物镜精密调焦的压电驱动器。第一套装置利用旋转型超声电机作为动力源
【作 者】
:
周昇
【机 构】
:
南京航空航天大学
【发表日期】
:
2014年01期
【关键词】
:
压电驱动器
超声电机
惯性冲击式电机
精密调焦
位移分辨率
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