【摘 要】
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本文在总结国内外文献的基础上，对CVD金刚石厚膜的高效抛光进行了初步的研究，本文所做的工作主要包括以下几个方面： ●利用自制的机械研磨装置，设计正交试验，通过测量表面粗糙度和表面轮廓来优化高效机械抛光金刚石厚膜的工艺参数。 ●用X射线衍射法测定金刚石厚膜的残余应力，研究机械抛光对膜内残余应力的影响。 ●利用镜面抛光机对金刚石厚膜进行抛光，并结合抛光后金刚石厚膜的SEM照片来分析金
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本文在总结国内外文献的基础上，对CVD金刚石厚膜的高效抛光进行了初步的研究，本文所做的工作主要包括以下几个方面： ●利用自制的机械研磨装置，设计正交试验，通过测量表面粗糙度和表面轮廓来优化高效机械抛光金刚石厚膜的工艺参数。 ●用X射线衍射法测定金刚石厚膜的残余应力，研究机械抛光对膜内残余应力的影响。 ●利用镜面抛光机对金刚石厚膜进行抛光，并结合抛光后金刚石厚膜的SEM照片来分析金刚石膜表层存在的裂纹。
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