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【摘 要】
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A1N优异的物理化学性能使得A1N薄膜在压电、光电子及声表面波等领域有着广阔的应用前景，因而受到人们广泛的关注和研究。本文使用超高真空磁控溅射设备，应用反应磁控溅射法在Si
【机 构】
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西安理工大学
【出 处】
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西安理工大学
【发表日期】
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2012年期
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