二氧化钛(TiO2)具有良好的光催化性和亲水性能，并由于其化学稳定性好、反应活性高，成本低而受青睐。光催化TiO2材料可用于降解有机物、杀菌消毒、污水处理、空气净化、防雾玻璃、自清洁玻璃等方面，已成为环保纳米材料研究开发的一个热点。　　 本文采用射频磁控溅射方法制备了纳米TiO2薄膜和TiO2/SiO2复合薄膜。采用XRD、AFM、UV-Vis、液滴形状测试仪等手段系统研究了制备条件如溅射气氛、溅射时间等对纳米TiO2薄膜和TiO2/SiO2复合薄膜晶体结构、表面形貌、光学性能、亲水性能等方面的影响，以及SiO2掺杂量对这些性能的影响。主要研究内容和结果如下：　　 1.射频磁控溅射制备纳米TiO2薄膜的性能研究　　 室温下制备纳米Tio2薄膜呈无定型，500℃条件下热处理1h后出现锐钛矿相，升高热处理温度未出现金红石相，溅射气氛中适当的氧气有利于薄膜晶胞沿着c方向生长。热处理前TiO2颗粒较大，热处理后颗粒变小，薄膜更加致密，随着氧气含量的增加，薄膜颗粒变小，边界模糊，表面粗糙度变小。TiO2薄膜在可见光范围有很好的透光度，在紫外光区域有明显的吸收，热处理之后吸收限未有明显变化，随着氧气含量增加，薄膜对紫外波段光波吸收强度变弱，且薄膜的光波吸收限λg向短波方向移动，即吸收波长呈现出明显的“蓝移”。制备出的TiO2薄膜在自然条件下不具有超亲水性。随着溅射气氛的改变，接触角的变化不大，热处理之后接触角较热处理前有所减小。　　 2.射频磁控溅射制备TiO2/SiO2复合薄膜的性能研究　　 溅射功率200W溅射5h的条件下制得的TiO2/SiO2复合薄膜表面形貌较好，颗粒形状比较规则，边界清晰，粒径尺寸均一，在称底上分布很均匀致密。热处理和适当的SiO2含量能改善薄膜表面形貌。同时，证实了适量引入SiO2后，减小了TiO2薄膜的晶粒尺寸，提高了TiO2薄膜的成膜质量，使薄膜的比表面积增加。SiO2的加入抑制了TiO2晶相的形成。　　 TiO2/SiO2复合薄膜对紫外波段光波吸收强度与镀膜时间成正比，与氧气含量成反比。随着氧气含量的降低，薄膜的光波吸收限λg向长波方向移动，即吸收波长呈现出明显的“红移”。随着Si、Ti摩尔比的增加，薄膜的光波吸收限λg向短波方向移动，即吸收波长呈现出明显的“蓝移”。　　 溅射功率为200W溅射5h的条件下制得的TiO2/SiO2复合薄膜具有自然超亲水性，随着溅射气氛中氧气含量的减少，热处理前薄膜的接触角减小，随着靶材中SiO2含量的增加，薄膜的接触角越来越小，，硅钛比为1/2、1/1时，热处理之后的薄膜液滴在其表面完全浸润。薄膜表面粗糙度、热处理以及在薄膜的界面上形成的Si-O-Ti键等因素影响薄膜的亲水性能。