MEMS(微机电系统)始于微电子学最近二十多年的发展,是多学科交叉的前沿性研究领域,在众多领域都有重要的应用,是当前全球和我国科学技术研究的热点,并将成为未来电子科学发展的一个重要方向。微机械加工技术包括表面微机械加工和体微机械加工。由于MEMS器件在微小尺寸内注重微结构的立体结构和几何形状,所以微机械加工有很多区别于IC工艺的独特性,到目前还没有形成高度的标准化。MEMS CAD的工艺级设计可以使用工艺模拟软件对工艺的实际表现预测,从而给器件设计提供参考,节约设计成本、减小器件设计周期。　　 在MEMS工艺仿真领域,目前常用的表面模拟演化算法有元胞算法、线算法等,在三维情况下应用会出现对内存要求过高、计算时间过长等缺点。本文提出一种点元算法,并成功地在三维仿真中应用。用适当密度的点元阵列及其相连的网格曲面模拟结构表面,用曲线交点的演化带动表面曲线的移动,从而实现结构表面演化。采用高斯积分的方法求得每个面元的外法线方向,作为每个点的演化方向。三维点元模型避免了线模型在三维应用中出现的病态交叠面,同时比三维元胞模型节省内存资源和计算时间。对实际工艺和结构进行仿真实验时,出于对不同形貌表面精度要求的差异,分不同区域分别建模,在保证精度的条件下提高模拟效率。用C语言编程实现用数据模拟演化的过程,得到的数据结果用图形软件显示,达到三维可视的效果。　　 论文分别对湿法腐蚀与干法腐蚀、牺牲层腐蚀、淀积等工艺进行新型三维表面演化算法应用,结合参考文献得到了各自的物理模型,然后用点元算法对特定条件下的工艺进行了模拟,得到三维的可视化图形。为了验证模型的可行性,首先对不同深度的各向同性刻蚀进行模拟,并与实验结果对比,两者在腐蚀形状和腐蚀尺寸都保持较好的一致；其次对牺牲层腐蚀技术中典型的悬臂梁结构腐蚀进行模拟；最后对在不同衬底上淀积得到的形貌进行模拟。得到的模拟结果与文献相关保持一致,验证了模型的准确性和对多种工艺良好的适应性。