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来源 :复旦大学 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
论文采用飞秒激光重掺杂技术,在普通硅材料中掺杂氮元素。采用该掺杂技术在硅中所掺氮原子的浓度大约为1020/cm3,远远超过氮在硅晶格中的固溶度,即4.5×1015/cm3;同时也远远超出
【作 者】
:
董晓
【机 构】
:
复旦大学
【出 处】
:
复旦大学
【发表日期】
:
2014年01期
【关键词】
:
硅基材料
飞秒激光重掺杂技术
氮元素
性能表征
光电器件
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