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【摘 要】
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随着集成电路的不断发展,对集成电路器件的设计提出了更高的要求。一方面,不断减小的器件尺寸使得传统器件结构发生改变,出现了SOI器件、FinFET器件和纳米线器件,这些器件结
【机 构】
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北京大学
【出 处】
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北京大学
【发表日期】
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2012年期
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