高技术产业作为传统产业的中流砥柱,对我国经济发展模式的转变、产业结构调整具有重要的推进作用。高技术产业与其他产业相比,一方面其所进行R&D活动对提升整个国家的竞争力意义更重大,另一方面高技术产业的创新活动又需要大规模的资金投入。所以,对高技术产业创新活动的资金来源进行研究显得非常的重要。由于我国高技术产业进行R&D(研究与开发)活动所需资金来源不同,则不同R&D活动融资渠道融入的资金对创新的技术效率的影响也将有所不同。本文首先,对R&D(研究与开发)融资渠道与高技术产业创新的技术效率相关研究进行回顾;然后对R&D融资渠道与高技术产业的相关理论进行阐述,并分析了不同R&D融资渠道对技术效率产生影响的作用机制;然后利用DEA-Tobit两步分析法研究R&D融资渠道对高技术产业技术效率的影响:先用数据包络分析(DEA)模型计算出我国及东、中、西部各省区的高技术产业创新的技术效率、纯技术效率及规模效率,得到了我国近年来技术效率相对有所提高,但依然较低;同时东部地区技术效率降低是由其规模效率降低所导致。然后,利用面板数据Tobit(删截模型)回归模型,研究不同R&D融资渠道对我国及东、中、西部地区高技术产业技术效率及其分解指标的影响。经分析得到,四种融资渠道均有利于我国技术效率的提高;企业自身融资、金融渠道融资、风险资本融资均有利于东部地区技术效率提高;企业自身融资渠道及盈利能力有利于中部地区技术效率的提高;而政府融资渠道则有利于西部地区技术效率提高;最后,针对我国不同地区的高技术产业,提出了采用不同融资方式来促进其技术效率提高的政策建议。