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【摘 要】
:
薄膜催化剂化学气相沉积(CVD)法是制备高定向阵列式碳纳米管的有效方法之一。金属催化剂薄膜的制备一般采用物理气相沉积(PVD)法,PVD的基底温度决定了薄膜的生长方式和薄膜的表面形貌,进而影响薄膜的催化性能。但目前国内外对这方面的研究还较少。在薄膜催化剂化学气相沉积(CVD)法是制备定向阵列式碳纳米管过程中,通入NH3对催化剂薄膜进行前期处理可以促进碳纳米管的定向生长,但由于实验设备和采用参数的差
【作 者】
:
孙长存
【机 构】
:
南昌大学
【发表日期】
:
2010年06期
【关键词】
:
基体温度
碳纳米管
NH3前处理
金刚石
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