【摘 要】
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该文针对金属粗光栅,提出了通过鉴相细分来实现动态位置检测.金属粗光栅在脆性和接长能力等方面很好的弥补了玻璃光栅的不足,但由于其节距较大且波形质量较差,因而对细分电路
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该文针对金属粗光栅,提出了通过鉴相细分来实现动态位置检测.金属粗光栅在脆性和接长能力等方面很好的弥补了玻璃光栅的不足,但由于其节距较大且波形质量较差,因而对细分电路提出了更高的要求.该文在论述光栅测量技术发展状况及其测量原理的基础上,对比分析了国内外常见的光栅测量装置的设计方案,进而提出了适合于金属粗光栅的鉴相细分方案.文中详细论述了该方案的实现过程.系统调试证明了鉴相理论在金属粗光栅电子细分方面的可行性,该系统在节距为1mm的金属粗光栅上实现了200细分,整个系统的最小分辨率达到了5μm,最高跟踪速度达到500m/min,该文最后给出了该系统的综合误差分析.该系统中设计了高抗干扰数字鉴相器,同时硬件及软件均采用模块化设计,从而使整个装置具有较强的抗干扰能力,很好地满足了环境恶劣的工业现场对测量设备的要求,为金属粗光栅的推广应用打下了坚实的基础.
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