准分子是一种仅在激发态存在的理想高效激光介质，自成功获得激光输出以来，准分子激光技术发展迅速。由于波长短、脉冲能量高等优点，准分子激光在集成电路光刻、医疗以及精密加工等领域得到了广泛应用。作为当前光刻系统中的光刻光源，准分子激光器输出光谱的特性与光刻质量、成品率等密切相关，需要通过检测模块在使用过程中对输出激光的光谱进行实时监测。本文针对准分子激光光谱在线测量展开深入研究，进行了系统的理论分析，并开展相关实验验证工作。　　本文首先简要回顾了准分子激光器的发展进程，并结合课题的研究背景及意义，对准分子激光器的光谱在线测量技术进行综述分析。　　之后针对高功率、窄线宽光刻用准分子激光系统光谱中心波长与线宽检测的需求，重点研究了对于准分子激光中心波长与线宽的测量模型，提出通过法布里-珀罗(F-P)标准具和中阶梯光栅结合测量中心波长、使用F-P标准具测量线宽的高精度光谱在线测量的方法。　　其次针对准分子激光中心波长与线宽的测量方法，设计出相应测量流程与测量算法，提取计算中心波长与线宽所需的有效信息，并通过程序的设计实现在线自动测量。　　最后，对所设计的测试方法与程序算法进行实验验证，对可能影响测量精度的因素进行了综合的系统分析，并对未来进行了规划与展望。