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随着微小航天器的发展,其对器件轻量化的要求越来越高,传统的MEMS百叶窗等热控器件因其体积大、质量重、结构复杂等特点而难以应用于微小卫星。钙钛矿锰氧化物是一种热致变色可变发射率材料,可以根据自身的温度水平,自动调节辐射特性,起到主动智能控温的作用,在航天领域有很大应用前景。本文采用磁控溅射法在掺亿氧化锆(YSZ)单晶基片、硅(Si)单晶基片和石英玻璃表面制备钙钛矿锰氧化物La1-xAxMno3(A=Ca, Sr)热致变色薄膜,溅射过程中调节溅射气压、氧分压、溅射时间等参数,分析薄膜材料的组份