基于自混合干涉的位移测量

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【摘要】

：

自混合干涉技术是近年来兴起的一项精密测量技术，其系统不仅具有传统干涉技术的高灵敏性、高精度性以及非侵入性，而且结构简单、紧凑、易准直且价格低廉，解决了传统干涉系统复杂、尺寸庞大、敏感与准直以及价格昂贵等问题。自混合干涉技术主要优势在于几何量传感测量，其中位移测量是几何量测量中一个重要的组成部分。本文阐述了自混合干涉技术及其应用的发展，对利用光反馈自混合干涉进行位移测量的几种方法进行了简单的介绍；根

【作者】

：

薛琦

【机构】

：

郑州大学

【发表日期】

：

2007年05期

【关键词】

：

自混合干涉位移测量傅立叶变换条纹计数法半导体激光器

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