【摘 要】
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该论文对金属多层膜质量输运过程以及在封闭石英安瓿中β-FeSi单晶的化学气相生长进行了深入的研究工作.采用原位X-射线衍射、高分辨透射电镜截面观察和光吸收谱测试等手段研
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该论文对金属多层膜质量输运过程以及在封闭石英安瓿中β-FeSi<,2>单晶的化学气相生长进行了深入的研究工作.采用原位X-射线衍射、高分辨透射电镜截面观察和光吸收谱测试等手段研究了退火过程中Ag/Si多层膜的扩散、结构 演变及光学性质变化,并与可固溶性金属/Si系多层膜进行了比较.采用原位四探针电阻测量作为主要手段,结合X-射线衍射实验的物相分析和卢瑟福背散射实验的元素浓度分布测定研究了Ag/Sn/Ag三层膜中固/液界面现象.建立了一种用固/液-液/固复合三层膜测量液态金属中扩散系数的实验模型.利用化学气相输运方法,使用碘作为传输剂,在封闭的石英安瓿中进行了新型热电及光电材料β-FeSi<,2>单晶的化学气相生长实验.
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