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金属光子晶体是指周期性阵列的金属纳米结构,包括金纳米线,金纳米柱,金纳米孔、金纳米环等。波导耦合金属光子晶体是指将金属光子晶体制备在波导层之上。由于金属纳米结构的局域化表面等离激元与波导耦合光栅结构的共振模式间的强烈相互作用,产生了类Fano共振的耦合效应。这使得金属光子晶体具备特殊的光物理学性质,而能够广泛应用于光开关、生物传感器、光伏器件、表面增强拉曼散射光谱学、分布式反馈激光器等。本文利用激光干涉光刻结合金纳米颗粒胶体溶液的旋涂和热处理工艺构成的所谓金属光子晶体的溶液法制备技术,制备大面积均匀