【摘 要】
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该论文首先介绍ECR(电子回旋共振)离子源的基本原理及其发展,在此基础上讲述了近物所的14.5GHz ECR离子源的结构和特点.该论文主要内容是介绍所研制的适且于30KV高压端的ECR
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该论文首先介绍ECR(电子回旋共振)离子源的基本原理及其发展,在此基础上讲述了近物所的14.5GHz ECR离子源的结构和特点.该论文主要内容是介绍所研制的适且于30KV高压端的ECR离子源高真空微调针阀控制系统.此系统被控对象是位于ECR源上的高真空微调针阀,它与地面之间有20~30KV的电位差.论文中首先阐述此控制系统研究的背景,并对ECR离子源电气参数控制的特点进行了说明.根据被控对象的情况以及对系统提出的指标,详细讲述了此控制系统的软、硬件实现.硬件包括步进电机、步进电机驱动器、轴编码器等.软件包括译码编程.然后从总体介绍上控制系统的功能结构,再分步讲述发射器、接受器、译码等各功能模块的实现过程.
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