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目前,微电子机械系统(MEMS)技术已经在射频(RF)通信器件中得到广泛应用,并取得很大成功.使用MEMS技术制作的RF器件不仅体积小,而且可以与CMOS电路集成,形成完整的片上射频集成电路.作为射频电路的重要元件,电感是目前RF-MEMS器件中研究的热点之一.我们设计了一种新型与CMOS工艺相兼容的RF-MEMS电感,并实现了其制作,积累了RF-MEMS器件的设计、制作经验.