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氧化锌(ZnO)是直接带隙宽禁带化合物半导体材料,其禁带宽度为3.37 eV,在室温下拥有60 meV的激子束缚能,具有高的热稳定性和卓越的光学性质,因此,ZnO成为继GaN之后研究的一个新热点。尽管ZnO薄膜的研究在实验和理论方面都取得了可喜的进展,但是表面等离子体对ZnO薄膜发光的调制机制有待于进一步的研究。在本论文中,用化学气相沉积法在蓝宝石衬底上生长纳米结构ZnO薄膜,在纳米结构ZnO薄膜表面上利用真空直流溅射仪蒸镀Au纳米颗粒。ZnO薄膜晶体结构用X-射线衍射仪(XRD)表征,