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磁性薄膜的研究,是磁学领域的研究热点。其研究成果不仅可以直接应用于磁记录、传感器等领域,同时又可以丰富和完善微磁学理论。本论文应用对靶磁控溅射法制备了一系列Ti/Fe/Ti和Fe/Ti磁性纳米薄膜,并利用VSM、SPM和XRD等对材料的磁特性和微结构进行了研究。分析、讨论了Ti层厚度(x)、退火温度(Ta)以及基底温度(Ts)对薄膜微结构与磁特性的影响。实验发现Ti层厚度(x)、退火温度(Ta)以及基底温度(Ts)对类三明治结构Ti/Fe/Ti纳米薄膜的微结构和磁特性有很大影响。