太阳能作为一种取之不竭的清洁能源是解决日益紧张的能源危机，替代化石能源的最好的选择。光伏发电即将太阳能直接转变为电能，近几年来得到了显著的发展和应用。我国在光伏发电领域起步虽然较晚，市场只占世界的8％左右，产能却占据了世界产能的50％以上，极大的发展不平衡。多晶硅太阳能电池是目前光伏发电的主流产品，多晶硅铸锭是太阳能电池生产中的关键环节，铸锭品质的好坏，直接关系到太阳能电池的产率和成本。本文通过对多晶硅铸锭过程中Ge的掺杂，掌握了Ge在多晶硅铸锭过程中的分布规律，并且得到了使硅锭内位错水平得到有效抑制的初始掺杂水平为200ppma。通过对硅锭内C、O含量的分析研究发现当硅锭内C、O的含量均较高时，适当增加的C浓度将对间隙O起到消耗和抑制的作用，并分析了产生作用的原因。通过金相的观察发现了多晶硅定向凝固过程中晶相的变化规律。多晶硅铸锭过程中采用等静压成型熔融石英坩埚铸锭成功，证明了等静压成型技术对于制作多晶硅铸锭用石英坩埚完全可用。本文的研究内容，将对多晶硅铸锭品质提高具有重要的意义。