本文介绍了一种新型压电式固态微陀螺,相对于一般的机械陀螺或振动陀螺来说,固态陀螺有强的抗冲击、抗震动能力。本文详细给出了新型的压电式固态微陀螺的结构,参考振动及其工作原理,并进行有限元分析对陀螺的工作原理进行了验证。此外本文在新型的压电式固态微陀螺的敏感度和双轴角速度检测的方面进行优化。首先在陀螺工作原理的基础上讨论陀螺的敏感度和陀螺的参考振动之间的关系,经过有限元仿真得到最优化参考振动,在此参考振动下陀螺具有高的敏感度。其次提出了新的陀螺结构,使得在一定驱动方式下的振动能够用来实现双轴角速度检测的陀螺的参考振动。同时对此进行优化,得到了相应的最优化参考振动。本文也给出了压电式固态微陀螺的加工工艺。讨论了基体和电极的材料,种子层和湿法刻蚀去种子层的溶剂。对电极和大小和分布位置做出了改进。设计了陀螺的驱动与检测电路并进行PCB板的制作。通过LABVIEW对电荷放大器的信号进行采集,包括电压的幅值和相位,用此来监控陀螺的最优化参考振动。最终给出了单轴和双轴陀螺的监控最优化参考振动的检测结果,及其与仿真结果的对比。实验检测结果和仿真结果很接近,这也验证了本文提出的最优化参考振动的可行性。