铌酸锂晶体因其性能比较稳定、透光波段较宽、具有良好的压电效应、铁电效应、热电效应、电光效应、声光效应、光折变效应、光弹效应、非线性光学中的非线性效应等优良的光学性能,且具有数目较多的本征缺陷,而被广泛的应用于光学领域。当今钛扩散铌酸锂晶体光波导的研究比较成熟,但是钛扩散铌酸锂晶体光波导存在光损伤的问题,然而研究表明镓具有抗光折变的特性,并且可以制作条形波导,因此,本文采用铌酸锂晶体做为基底,制作镓扩散条形光波导。本论文主要进行了以下两方面的研究和探讨:（1）Ga:LN单模条形光波导制备与光学表征。实验用Z切同成分双面抛光的铌酸锂为基底,通过电子束蒸发镀膜技术,在其表面制作127±2nm厚,8um宽的Ga₂O₃条;样品在950^oC条件下,采用高温扩散工艺处理2小时,成功制作出镓条形光波导;实验表明本文制作的镓条形光波导,在1547nm光源下,可以同时具有TE和TM两种传导模式,实验得到本文的样品传输损耗约为TE模式0.5dB/cm（TM模式1.0dB/cm）。（2）Ti:Ga:Er:LN单模条形光波导的制备和光学特性表征。实验用Z切同成分双面抛光的铌酸锂为基底,采用磁控溅射镀膜工艺,在样品表面沉积18±2nm的铒金属薄膜,并在1600^oC高温条件下处理120h;然后,采用磁控溅射镀膜工艺,在其表面制作130±2nm厚、8um宽的Ti条,并在1060^oC条件下扩散8h;最后,采用电子束蒸发镀膜工艺,在其表面沉积140±2nm的氧化镓薄膜,并在1060^oC条件下扩散1h。在980nm做为泵浦光,1547nm做为信号光的条件下,放大实验获得信号增强因子随泵浦功率的实验关系,同Ti:Er:LN相比,实验结果表明镓掺杂有效地提高了光波导的抗光折变能力。