晶硅太阳能电池在众多类型的太阳能电池中,是目前转换效率最高,技术最成熟的光伏器件。近年来,对于半导体纳米材料增效晶硅太阳能电池的研究成为太阳能电池增效的研究热点。本文以化学水浴法(CBD)和溶胶凝胶法(sol-gel)为核心,在晶硅太阳能电池片表面沉积生长了Sb2Ox/Al2O3纳米金属氧化物薄膜,形成了Sb2Ox/Al2O3/c-Si复合电池结构。通过场发射扫描电子显微镜分析仪(FESEM)、X-射线粉末衍射分析仪(XRD)、X-射线光电子能谱分析(XPS)、固体紫外-可见-近红外漫反射光谱分析仪(UV-VIS-NIR)、半导体材料少数载流子寿命测量仪、四探针测试仪对薄膜结构、形貌、光学性能及少子寿命、方块电阻等方面进行表征。利用太阳光模拟器、太阳电池光谱响应／量子效率(QE)/IPCE测试系统以及电化学工作站,测试了复合电池的光电转换性能。首先通过CBD法在晶硅电池片表面制备了Sb2Ox纳米膜,经过适当的温度处理,Sb2Ox与c-Si紧密结合形成异质结构。研究了不同Sb(Ac)3浓度以及表面活性剂添加量对Sb2Ox纳米膜形貌、性能的影响。测试了Sb2Ox纳米膜/c-Si复合太阳能电池的光电性能,相比于未经处理的电池片,量子效率和光电转换效率都有明显提升,利用XPS分析和电化学阻抗谱证实了Sb2Ox纳米膜中Sb5+作为电子给体,Sb3+作为电子受体,在晶硅片表面形成了类PN结结构,利用类PN结的内建电场,加速了光生载流子的传输与分离,大大减少其在表面的复合损耗。在此基础上,利用溶胶凝胶法在Sb2Ox纳米膜/c-Si复合晶硅片上沉积一层A1203薄膜,薄膜均匀性好,厚度可控。为了充分利用Sb2Ox纳米膜的优点,最大程度降低Sb2Ox纳米粒子表面缺陷多,存在氧缺陷等不利影响,我们利用Al2O3薄膜出色的表面钝化效应,减少载流子复合损失,进一步提高有效少子寿命,并且A1203薄膜具有出色的减反射效果,可以在一定程度上替代SiNx减反射涂层,简化实验条件,节约成本。