【摘 要】
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该文以网板自动对板过程中位置偏差检测及整个系统控制技术的研究与实现为论题,讨论了在玻璃母板上设计差动光栅结构,借助差动摩尔信号判断几何体在平面坐标中三自由度方向(
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该文以网板自动对板过程中位置偏差检测及整个系统控制技术的研究与实现为论题,讨论了在玻璃母板上设计差动光栅结构,借助差动摩尔信号判断几何体在平面坐标中三自由度方向(水平、垂直和角度)微小位置偏差的检测方法.根据被控对象模型的不确定性,运动过程的非线性、复杂性特性,详细分析了各种可能的位置偏差关系情况,提出了基于知识库的专家系统方案并给出了相应控制流程.在控制执行部分,采用了步进电机大步驱动与细分步驱动相结合的方式,兼顾了实时性与定位精度两方面的要求.在该文的最后,分析了误差的来源,提出了保证定位精度的办法.测控系统的硬件选用研华610工控机及配套接口卡,所编制的应用软件能够完成对板过程的实时控制与显示,并提供友善的人机界面.
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