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电致变色是指材料的光学性质如吸收率、透过率等在外加电场作用下发生可逆变化的现象,其光学性质的改变可以实现光热调控,应用于绿色节能建筑和航天器热控等领域,因此,电致变色材料与器件的研究备受关注。本文采用电子束蒸发镀膜的方法,制备了氧化钨(WOx)和氧化镍(Ni O)电致变色薄膜,研究了厚度和热处理温度对其电致变色性能的影响,结果表明,WOx和Ni O薄膜的透过率调控范围随厚度的增加而增大,而且Ni O薄膜循环500次后调控幅度增加,400nm的Ni O薄膜初始透过率变化为26%,而循环后可达43%。热处理对电致变色薄膜的影响也是显著的,WOx薄膜在热处理后电致变色性能下降,主要表现为透过率变化的减小和响应速度的变慢,但当热处理温度超过300℃时,其透过率调控范围略有回升;WOx薄膜的红外电致变色性能主要表现在2.5~10μm波长范围内,厚度为250nm时,在10~25μm波段发射率几乎不随电压变化,随着厚度的增大,发射率变化逐渐增大。Ni O薄膜在热处理后的电致变色性能表现与WOx相反,其透过率范围增大,且随温度的升高响应速度变快,但当热处理温度超过350℃时,循环性能变差,光热调控能力下降而且响应速度变慢;Ni O薄膜在红外波段未表现出电致变色行为,但其发射率随着厚度和热处理温度的增加而增大。随后,本文研究了电致变色顶电极ITO层的制备,发现ITO电极不热处理时电阻很大而且透过率很低,只有20%左右,热处理后电阻减小,透过率明显提高,可达80%左右。采用电阻蒸发和电子束蒸发的方法在ITO玻璃上依次蒸镀Ni O、Li、WOx和ITO组成电致变色器件,并测试其电化学和电致变色性能,结果发现器件在室温和200℃热处理条件下无法观测到明显的变色现象,在250℃及以上的热处理温度下均能观测到电致变色现象,其中在300℃和350℃下性能最好,分别拥有最快的响应速度和最大的光谱调制范围,并且都具有良好的循环稳定性。