【摘 要】
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该论文的主要工作是针对目前微机械谐振器所涉及的三个问题进行了一定的研究,并对梳状谐振器能量转移的线性问题进行了讨论.第一个问题是谐振器具有的高品质因子是在真空腔体
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该论文的主要工作是针对目前微机械谐振器所涉及的三个问题进行了一定的研究,并对梳状谐振器能量转移的线性问题进行了讨论.第一个问题是谐振器具有的高品质因子是在真空腔体测量的结果是尽可能降低空气阻尼影响的试验结果,因为空气阻尼在所有影响因素中效果最明显,其是否存在导致Q值有10<4>的变化幅度.该论文的第二个工作是提出了电容耦合微机械谐振器的原理.第三个问题是关于提高微机械谐振器频率的问题.就目前的通信技术发展而言,单片系统已明显地成为PCS系统技术发展方向.IC制作技术使电路的功能越来越强大,体积越来越小,功耗越来越低,甚至为了提高其性能,许多功能都可以通过软件来实现.IC技术的进步凸现出PCS系统中无源器件的不足.微细加工技术制作无源器件必然会成为发展潮流,因为它解决了无源器件和IC单片集成的问题,使得单片系统的实现指日可待.在低于吉赫兹的频率段,利用机械结构振动的微机械谐振器因为具有稳定性好,功耗小,制作工艺简单等优点,是相当受重视的一个研究方向.频率的进一步提高必然会促使微机械谐振器有更大的发展应用空间.
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