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光散射薄膜器件是光束整形器件中重要的光学器件之一。散射薄膜器件的光散射方式通常分为表面散射型和体内散射型,其分别利用基体表面的微结构和基体材料内的散射粒子进行散射光。光散射薄膜可应用于灯具照明、液晶背光显示、投影系统等领域中。国内生产的散射薄膜器件,存在着透光率不高及散射角度、散射光斑形状较难控制、光束整形综合能力差的缺点,限制了其应用的广泛性。本实验室采用工作波长为405nm固体激光器,以逐点曝光的光刻方式,成功的在光刻胶表面上制作出满足均匀概率密度函数分布的随机微结构。光束通过此器件,散射光斑具