硫系玻璃基底高强减反膜制备工艺技术研究

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【摘要】

：

硫系玻璃是一种新型的红外光学材料,具有红外透过波段宽、折射率温度系数小、可精密模压成型等优点,是较好的红外光学系统窗口材料。探究硫系玻璃的镀膜特性及其高强减反膜的制备技术将有利于硫系玻璃的进一步推广和应用。本文通过实验研究了硫系玻璃基底(IRG205,IRG206)耐受薄膜制备工艺的材料特性,明确了基底可承受的离子辅助轰击强度和时间。在此基础上探索了硫系玻璃基底(IRG205,IRG206)上8～

【作者】

：

费海明

【机构】

：

西安工业大学

【发表日期】

：

2017年05期

【关键词】

：

硫系玻璃减反膜工艺 PECVD 环境试验

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