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【摘 要】
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氧化镓（Ga2O3）禁带宽度为4.9 e V,紫外吸收边对应为253 nm,是天然的深紫外探测材料,已然成为光电领域的研究热点。近年来,消费者对智能化便携式可穿戴设备、智慧医疗等领域的需求激增,使柔性光电传感器件迎来了新的发展机遇。然而,现报道的Ga2O3基紫外探测器多数是在刚性衬底（如:Al2O3、Si、FTO等）上制备的,此类器件无法弯曲,限制了其在柔性光电场景中的应用。尽管已有柔性衬底上生长
【机 构】
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浙江理工大学
【出 处】
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浙江理工大学
【发表日期】
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2022年01期
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