多晶硅由于其优越的物理性能,已成为全球光伏产业和电子信息工业重要原料物。目前有多种多晶硅生产工艺,其中改良西门子法得到广泛应用。多晶硅生产作为典型的化工生产过程,存在着火灾、爆炸、中毒窒息等危险有害因素,若操作不当会造成严重的后果。本文对改良西门子法(三氯氢硅还原法)多晶硅生产工艺存在的危险有害物质的种类、性质和危险有害因素进行了分析,并在危险、有害因素分析的基础上,采用预先危险性分析法、危险度评价法、池火灾事故后果模型、毒物扩散事故模型等研究方法,对火灾、爆炸事故发生原因、发生部位、产生后果进行多角度分析,辨识生产工艺中的潜在危险和后果,定量评价潜在危险的危害程度。为多晶硅生产企业安全生产和管理措施的制定、应急救援预案的编制和演练提供了技术依据,也可以为安全生产监督管理部门提供参考。主要研究成果包括以下几个方面:(1)采用预先危险性分析方法,较为全面的查找出生产工艺过程中存在危险有害因素和事故隐患。(2)采用爆炸冲击波模型预测氢气储罐爆炸造成的死亡、重伤、轻伤和财产损失半径;采用池火灾模型和毒物扩散模型分别对三氯氢硅发生火灾和中毒事故的严重后果进行了分析预测。(3)针对多晶硅生产工艺特点,提出了相应的对策措施及建议,提高研究对象的本质安全化程度,控制和减少生产安全事故的发生。