【摘 要】
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该文基于改善类金刚石碳膜与铝合金基体结合力,提高铝合金表面承载能力的目的,采用了高离化率,高沉积速率的真空阴极弧离子镀技术,在铝合金表面获得DLC/TiC/Ti(CN)/TiN/Ti多
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该文基于改善类金刚石碳膜与铝合金基体结合力,提高铝合金表面承载能力的目的,采用了高离化率,高沉积速率的真空阴极弧离子镀技术,在铝合金表面获得DLC/TiC/Ti(CN)/TiN/Ti多层膜,研究了铝合金表面获得多层膜的成分、组织、结构,工艺参数对多层膜的成分、组织、结构的影响及其控制.为了进一步提高膜层质量,研制了电子式真空阴极弧引弧器及无辅助阳极弯曲弧磁过滤器,以期在航天领域的星、箭连接和展散机构以及传动转动机构等空间技术领域得到广泛应用.
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