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该文具体包括:第一章对随机表面的描述与测量方法、随机光场的特性和光散射方法进行了综述.第二章介绍了门积分平均的散斑光强自相关函数检测系统.得到一组散斑光强分布数据,再根据理论公式计算出散斑光强的自相关函数.系统整个运行过程由计算机编程控制完成.第三章在对随机弱散射屏进行表面参数的AFM测量的基础上,采用门积分取样平均的随机光强自相关函数测量系统,对弱散射屏在严格象面和离焦象面上产生的散斑自相关函数进行了测量.第四章通过采用随机表面的高斯相关模型的统计光学原理,推导出弱散射体在4f系统中的象面上光强的表达式.在此基础上提出了均方偏差粗糙度和横向相关长度的标定方法.实验上制作了高斯相关随机表面样品,对其表面参数进行了测量,与AFM所测得结果的比较表明,该文方法具有较高的精度.