位相物体的测量与成像研究是光学测量技术的一个重要课题，无论在生物、医学还是工业生产过程，位相物体成像技术都在发挥着重要的作用。传统的位相物体成像技术，特别是对生物样品和弱吸收透明物体的成像技术，已经有相当长的发展历史。随着显微测量技术的发展，部分较为成熟的技术早已产业化。但是传统成像技术都要求被测样品位相变化小于1且不能对位相物体进行定量测量。应用受到很大的限制。针对上述的不足，提出了一种位相物体测量与成像的新技术——位相物体干涉测量与扫描成像技术。不但能对位相进行定量测量而且能实现位相物体的成像，图像显示有多种形式，如假彩色、灰度和三维图形。在杨氏干涉的理论基础上，初步搭建了位相物体实验测量与成像系统，设计了位相测量与成像算法，并且对部分样品进行了测量和成像分析，得到了有意义的结果。主要完成工作及取得成果如下：一、综述了位相物体成像技术的发展以及这些技术的理论，其中以具有代表性的暗场法、纹影法和相衬法为主要的讨论对象，分析了各种方法的优缺点；二、提出位相物体干涉测量与扫描成像技术。对干涉测量与扫描成像技术进行理论分析，从理论上讨论了测量位相分辨率及线性测量范围。分析表明：位相分辨率可以达到π／15～π／25，位相测量范围可以达到2π，这是该技术最主要的优势；三、初步设计与组建了测量实验系统，讨论了系统的成像横向分辨率和成像区域，对其中重要的两个部分——扫描平移台和条纹图像采集系统进行了分析；四、提出测量干涉条纹的周期条纹二值图算法，设计相应的条纹图像处理软件，实现了条纹周期及其位移的测量，分析了位相计算的具体过程，讨论了条纹倾斜度及对比度对系统的影响，介绍了软件组成部分及其功能；五、对ITO薄膜等位相物体进行测量及成像实验，并对结果进行分析对比。