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【摘 要】
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在精密测量时,由于测量精度要求达到微米甚至是纳米级别,接触式检测方法容易产生弹性形变而影响测量精度,甚至对被测元件表面造成磨损,因此,非接触式测量更利于精密检测。非
【机 构】
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西南科技大学
【出 处】
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西南科技大学
【发表日期】
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2015年期
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