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微陀螺仪是测量运载体角速度的一类微型传感器,和传统陀螺对比看,它有着体积小、成本低、性能高和可靠性大等众多优势,具有十分重要的应用价值,对军事和民用领域都做出很大贡献。最近几年,海内外专家对更高性能的MEMS微陀螺陆续展开深入的探索和研究,现阶段,关于单自由度和多自由度微陀螺线性系统理论的研究已经比较成熟,采用的微陀螺分析模型大多都是基于理想的线性动力学而展开的一系列动力学分析,而忽略了微陀螺中普遍存在的非线性因素会导致基于线性动力学设计失效这一问题的严重性,因此,本文在对单驱动双检测三自由度的微陀