带式磁流变抛光关键技术研究

来源 :中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所) | 被引量 : 24次 | 上传用户:ltxiong
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光学加工主要可分为接触式加工和非接触式加工,接触式加工主要依靠各种类型的“磨头”在工件表面产生的剪切力实现去除,所以一般来说由于磨头的磨损,压力的不可控等因素会导致加工确定性不高,容易产生亚表面破坏层等问题。磁流变抛光技术作为一种“柔性磨头”的加工方式,又具有磁流变液完全回收,磨头状态稳定无损耗的特点,因此较传统接触式加工方法极大地提高了加工精度。但是,对于目前空间光学领域被越来越多使用的2m量级以上的大口径光学元件,尤其是对SiC反射镜来说,材料去除效率不足的问题尤为突出。在这种背景下,带式磁流变
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