【摘 要】
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该文系统地分析了近场特性及近场理论的研究方法.根据电磁场的基本原理,导出Ewald-Oseen消光定理,并结合傅立叶角谱理论系统的地导出适合于起伏样品表面近场计算的 一级微扰
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该文系统地分析了近场特性及近场理论的研究方法.根据电磁场的基本原理,导出Ewald-Oseen消光定理,并结合傅立叶角谱理论系统的地导出适合于起伏样品表面近场计算的 一级微扰近似公式,通过结合消假象理论使微扰理论的应用得到进一步的完善.该文通过计算一个周期性样品-介质矩形光栅的PSTM等强度和等高度扫描分布,进一步说明了由微扰加角谱理论发展起来的一级微扰近似公式作为获取二层界面非平面表面样品的凸凹结构信息公式是有效的.而结合了双光束消假象理论后,除去了由凸凹不平的微扰产生的动量局域偏移,减小了由表面倾角引起的假象,使一级抽扰近似公式更加完善.数值模拟表明,PSTM等强度和等高度扫描方式下利用消假象理论是非常有效的,有助于得到较理想的样品形貌和强度形貌图象.
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