【摘 要】
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扫描近场光学显微镜(SNOM)基于非辐射场的产生和探测,能够以超衍射极限的分辨率进行成像.该文解决了自行研制的SNOM系统中的若干问题:开发完成了扫描近场光学显微镜的测控软
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扫描近场光学显微镜(SNOM)基于非辐射场的产生和探测,能够以超衍射极限的分辨率进行成像.该文解决了自行研制的SNOM系统中的若干问题:开发完成了扫描近场光学显微镜的测控软件系统;对扫描图像的显示.校正、消噪、复原等处理进行了比较细致的研究,得出了扫描图像处理的最佳方案.大幅度改善了压电陶瓷扫描器的非线性特性和动态性能.消除了步进电机的丢步现象并提出了步进电机升降频的简化数学模型. 在以上两部分改进的基础上,开发完成了扫描近场光学显微镜的测控软件系统,主要包括步进电机控制,音叉探针谐振曲线测量、剪切力曲线测量,图像扫描、压电陶瓷扫描器的性能测试及非线性校正、步进电机位移测量等模块,并利用该软件获得了分辨率优于200nm的近场光学图像.在扫描图像的处理中:实现了扫描图像的伪彩色显示;针对探针与样品不垂直的问题,实现了对扫描图像的倾斜校正;在图像消噪处理中,实现了局部平均、低通滤波、中值滤波、维纳自适应滤波、小波消噪等图像处理方法.
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