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基于633nm稳频激光器构建的激光干涉测量系统具有结构简单、波长稳定度高及光路可见、容易调整等特点,被广泛应用于纳米科学技术研究及精密机械、微电子加工等现代工业制造场合。近年来,随着精密超精密加工尺度向亚微米和纳米迅猛发展,其对激光波长稳定度的要求也进一步提高,激光稳频技术也即成为超精密测量的重要研究热点之一。频率稳定度是考察激光器稳频性能的重要技术参数。然而在激光稳频技术研究中,由于激光频率超出当前光电探测器的测量范围,因此通常直接采用与I2稳频激光器拍频值或间接采用光频相关物理量值作为