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【摘 要】
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近些年来，高精度加工的需求在不断加大，为了提高产品的成品率及其表面质量，亟需一种高精度的在线测量系统。而白光干涉仪具有高精度、非接触、绝对测量、可测复杂结构(如台阶、
【机 构】
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浙江大学
【出 处】
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浙江大学
【发表日期】
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2012年期
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