半导体生产线有两类模型：专用半导体生产线模型和代工厂半导体生产线模型。对专用半导体生产线，本文设计了两种规划调度算法：一种是分层整数规划调度算法；另一种是约束理论规划调度算法。 具体而言，本文的主要研究贡献包括： 1.综述了近十年来半导体生产线的建模与规划调度研究现状，并讨论了各种方法实现细节以及可适用性。 2.针对半导体生产线可重入特性，提出 FF<,A>m||s<,i,j>,r<,j>,d<,j>,recrc||f 的调度模型，依据分解思想，提出了一种分层整数规划的求解算法，并通过仿真研究该算法的求解性能，最后提出了该算法的一种修正策略。 3.针对半导体生产线加工机器多样性导致机器利用率很难估计的问题，提出了用流体网络模型来估算机器利用率的方法。 4.针对专用半导体生产线，提出 FF<,A>m||s<,i,j>,r<,j>,d<,j>,recrc||f 的调度模型，并给出了一种基于约束理论的专用半导体生产线规划调度算法，分析了算法性能，通过实际生产线仿真来研究算法的有效性。 5.针对代工厂半导体生产线，提出 FF<,A>m||s<,i,j>,r<,j>,d<,j>,recrc||f 调度模型，给出了代工厂半导体生产线的全面描述。 6.提出并实现了通用半导体生产线调度仿真软件的模型结构和运行方式。