【摘 要】
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高精度和高分辨率的超精密工作台在近代尖端工业生产和科学研究领域具有极为重要的地位和广泛的应用前景。超磁致伸缩精密位移驱动器(GMA)是利用磁致伸缩棒的轴向磁致伸缩效应实现精度位移驱动,具有应变大、能量密度高、响应速度快、工作温度范围广等优点,但是由于驱动线圈发热及使用环境温度变化等因素导致热变形。为了提高驱动器的输出位移精度,必须对GMA的热误差产生的原因进行分析,并研究减小或消除热变形误差的方法
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高精度和高分辨率的超精密工作台在近代尖端工业生产和科学研究领域具有极为重要的地位和广泛的应用前景。超磁致伸缩精密位移驱动器(GMA)是利用磁致伸缩棒的轴向磁致伸缩效应实现精度位移驱动,具有应变大、能量密度高、响应速度快、工作温度范围广等优点,但是由于驱动线圈发热及使用环境温度变化等因素导致热变形。为了提高驱动器的输出位移精度,必须对GMA的热误差产生的原因进行分析,并研究减小或消除热变形误差的方法。论文第一章介绍了典型的微位移驱动技术,对超磁致伸缩驱动器及超磁致伸缩材料的特点进行了分析。综
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