【摘 要】
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等离子体源离子渗氮技术(PSIN)是最近发展起来的一种新的行之有效的材料表面改性技术.它具有设备简单、操作灵活和节省资金的特点,有着广泛的工作应用前景和不可限量的技术价
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等离子体源离子渗氮技术(PSIN)是最近发展起来的一种新的行之有效的材料表面改性技术.它具有设备简单、操作灵活和节省资金的特点,有着广泛的工作应用前景和不可限量的技术价值.但是,迄今为止的现有的等离子体源离子渗氮技术都是手动操作的.这与目前计算机的飞速发展和现代工业高度自动化的潮流是不相适应的.一项有远大前景的技术势必走向计算机控制下的自动化.为此,该文论述了由计算机控制的等离子体源离子渗氮技术.通过研制出的控制电路和编成的软件,利用计算机就可在已有的ECR等离子体源设备中控制等离子体源离子渗氮的温度、时间和入渗率这些决定渗氮效应的主要因素,从而可以选择可维持最佳参数,达到渗氮的最佳效果.
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