当今社会,温度和湿度传感器是属于非常重要的传感器,在许多行业如农业、工业、医疗行业以及生物工程等领域都有着重要的作用和庞大的需求量,但是随着科学技术的发展,传统传感器已经无法满足人们对于恶劣环境的探测,电池和电线的老化也使得传统传感器要依靠人力进行维护和更换,因此研究无线无源传感器可以使得传感器在这些特殊条件下能够得以应用,并且自身不携带电源也能够大大缩小传感器尺寸,节约成本的同时理论上寿命接近无限,所以本文基于LC谐振电路原理,通过合理工艺,研制了一种LC谐振式无线无源温湿度传感器。本文首先介绍了LC谐振电路的原理,利用电感线圈耦合的方式来实现传感器的无线无源工作。在考虑了电感电容对于传感器性能的影响,采用变介电常数式电容传感器类型,在对于温度和湿度的敏感机理的研究后,针对各自的需求确定了传感器的模型,温度采用上下平板电容结构,湿度采用叉指电极结构;对于不同参数的传感器需求选择了合适的基板材料和电极材料,确定了单参数传感器的多种结构尺寸和参数,温度传感器设计了电容串联圆形电感线圈和方形电感线圈两种结构;湿度传感器设计了叉指电极串联弱耦合电感线圈和普通电感线圈两种结构,通过对设计的传感器结构进行MATLAB仿真计算,在0-100℃和0-100%RH的条件下仿真,分析不同结构仿真结果的信号强弱,选择了最优结构,并且得到了温度和湿度单参数传感器的谐振频率随各自参量的变化图。针对已完成的传感器结构设计,采用丝网印刷工艺进行了传感器的器件制备,通过合理搭建温度和湿度的测试平台,对LC谐振式无线无源温度传感器和湿度传感器的各自进行性能测试。在温度15℃升高到85℃条件下,温度传感器谐振频率降低了65.53MHz;在相对湿度11.3%RH提高到97.3%RH条件下,湿度传感器谐振频率降低了31.6MHz,测试结果验证了单参数传感器结构设计的可行性。通过分析单参数无线无源温度传感器及无线无源湿度传感器测试结果,对无线无源温湿度传感器一体化结构进行了设计,并制备出了LC谐振式无线无源温湿度传感器。对于温湿度复合传感器的性能在复合环境下进行了测试,通过对测试结果的分析得到传感器在温度和湿度变化下的其谐振频率的变化规律,该传感器能够感知环境温度和湿度的变化,使得传感器的谐振频率发生变化,温度传感单元灵敏度为-0.2725MHz/℃,湿度传感单元灵敏度为-0.426MHz/%RH,测试的结果也证明该传感器实现了对环境温度及湿度的无线无源的测量。