本文介绍了一种正交型天线射频感应耦合等离子体源，射频天线穿过交叉排列的石英管内置于真空腔体中。运用朗谬尔探针方法诊断了放电等离子体的参量及其均匀性，运用发射光谱技术进行了波长为750.4nm[4s’(1/2)0-4p’(1/2)]的Ar激发线发光强度的表征，并使用自制的Rogowski线圈测量了天线中的射频电流变化。 结果表明，等离子体放电随着射频输入功率的增加存在着E模式向H模式的转变，H模式放电下发光强度及射频电流明显增大。天线中的电流随着气压的增加而洚低，这源于等离子体的电导率随气压的上升而线性下降。电子温度随气压的增大而降低，而电子温度则几乎不随功率而变化。从测得的结果可知：在放电室中上部形成了均匀稳定的高密度等离子体，该等离子体平均密度可达4.5×1016/m3，等离子体均匀性在中心±60mm区域内好于90％。