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来源 :福州大学 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
该文通过显微压痕法,在室温下用不同的载荷在单晶硅的(001)、(110)和(111)晶面 上制备裂纹,利用TEM观察研究裂纹形貌及其尖端的微观信息,阐明单晶硅室温下的断裂行 为及损伤
【作 者】
:
周海芳
【机 构】
:
福州大学
【出 处】
:
福州大学
【发表日期】
:
1999年期
【关键词】
:
单晶硅
显微压痕法
分形特征
位错塞积
韧性行为
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