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【摘 要】
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针对纯无机材料的成膜性差,现有有机聚合物及无机/聚合物杂化材料有诸多缺点,而且目前光学器件所用高精确折光指数材料折光指数不可调,该文选用可直接刻蚀图形的耐高温的感兴
【机 构】
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上海交通大学
【出 处】
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上海交通大学
【发表日期】
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2001年期
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